真空设备的选择要根据所要热处理的零件化学成分和加热温度实现，必须满足金属氧化物与一氧.化碳平衡分解压的关系，并且要考虑一定的余地，不要过分追求高真空，真空度过高不仅会造成合金元素的挥发，而且会造成设备的配置提高、投.资费用增加。
真空感应熔炼技术目前已经得到大规模的使用，从用于试验研究的几千克感应炉到用于实际生产的几十吨容量的大型感应炉，由于其操作工艺简单，熔化升温快熔炼过程容易控制，所冶炼金属成分均匀等优点，具有很大的应用前景，近些年得到了迅速的发展。
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与传统的冶炼相比，真空感应熔炼节能，环保，工人作业环境好，劳动强度小，具有很大优势。利用感应熔炼技术，最终浇注的合金材料杂质更少，添加的合金比例更加合适，能够更加符合工艺对材料各性能的要求。
真空炉加热元件的形式和材料有一定的不同。一般以板式和棒式为主，材料为高质量石墨。近年来cfc(碳碳)复合材料的出现表现出较大的技术优势，有取代石墨的趋势。同样功率的情况下cfc材料厚度薄、相对蓄热小、有利于提高冷却速度。

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