电子气体 (elect ron ic gases) :半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和运用场所,可分为电子级、l s i (大范围集成电路) 级、vl s i (超大范围集成电路) 级和ul s i (特大范围集成电路)级。4. 外延气体 (cp itax ial gases) :在认真选择的衬底上采用化学气相淀积(cvd) 的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4 种, 即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅, 主要用于外延硅淀积, 多晶硅淀积,威海气体批发价格, 淀积氧化硅膜, 淀积氮化硅膜,威海气体批发价格,威海气体批发价格, 太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率常常与衬底不同。气体分子自身没有体积,当实际气体压力不大,分子之间的平均距离很大。威海气体批发价格
离子注入气( gases for ion implantation):离子注入是把离子化的杂质, 例如p + 、b + 、as+加速到高能量状态,然后注入到预定的衬底上。离子注入技术在v th(阈值电压) 方面应用十分普遍。注入的杂质量可经过丈量离子束电流而求得。离子注入工艺所用气体称离子注入气, 有磷系、硼系和砷系气体。
非液化气体(nonliquefied gases):紧缩气体依据于一定压力和温度下在气瓶中的物理状态和沸点范围可以区分为两大类, 即液化气体和非液化气体。非液化气体系指除溶解在溶液中的气体之外, 在2111 ℃和罐装压力下完好是气态的气体。也可定义为在正常空中温度和13789~17237kpa 压力下不液化的气体。烟台混合气体厂家哪家好气体形态可过通其体积、温度和其压强所影响。
烟台氧气的化学性质比较活泼。除了稀有气体、活性小的金属元素如金、铂、银之外,大部分的 元素都能与氧气反应,这些反应称为氧化反应,烟台氧气属于药品管理的医用氧范畴,可以作为缺氧的预防和治的气体,那么烟台氧气适用于哪些人群呢? 体育运动人群:烟台氧气用于体育锻炼或比赛时,可消除呼吸急促、气喘胸闷、恢复体力。 长久开车人群:长久开车吸保健氧气,令您疲劳顿除、精神焕发、确保行车安全。 空气污浊人群:大气污染严重或会议室、办公室、居室等场所空气阻滞、流通不畅、空气不佳时,经常定期吸用氧气,可清洁呼吸道、置换肺部之有害气体,使精力更充沛。
在烟台气体中,还有很多气体,如?氩气、氟气,除了这两种气体外,还有很多气体都属于烟台气体,下面小编同学带大家一同认识下氯气。 氯气在1774年被舍勒发现,但是舍勒正在研究二氧化锰,当他让二氧化锰与浓盐酸混合并加热时,产生出黄绿色气体,此种气体强烈且刺激性味道让舍勒感到非常难受,但是他很确定自己制造出了一种新气体。 当他制备出氯气后,将氯气溶解在水中,发现此种水溶液对纸、花、蔬菜都具备长期性漂白作用,他还发现氯气可以与金属或金属氧化物发生化学反应。气体产品是现代工业的重要基础原料,与水、电一样被形象地比喻为“工业的血液”。
工业气体应用正在试验中的产业有:固体氮生产,燃料电池生产,磁性材料生产,超细加工,天然气发电,压缩天然气汽车,氢能汽车生产等。工业气体用量较多的产业,如钢铁、化肥、化工、玻璃及化纤行业均自建气体生产设备,实行自产自销的企业经营方针,一些工业气体用量较少的产业,主要依靠市场购买工业气体。因此工业气体的液体市场正在掘起,应用领域也越来越广,如1999年美国液氧和液氮市场,按行业分,各行业的占有比例如下:液氧市场:机械16%、金属14%、保健13%、电子12%、焊接10%、运输10%、化工9%、玻璃5%、运输服务2%、造纸1%、实验室1%、其他7%。气体与液体一样是流体:它可以流动,可变形。与液体不同的是气体可以被压缩。烟台混合气体厂家
气体分子间无作用力;气体分子本身不占有体积。威海气体批发价格
蚀刻气体 (etch ing gases) :蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉, 而使有光刻胶掩蔽的区域保管下来, 这样便在基片表面得到所需求的成像图形。蚀刻的基本恳求是, 图形边缘划一, 线条明晰, 图形变换差小, 且对光刻胶膜及其掩蔽维护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体, 通常多为氟化物气体, 例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制、便当、无脱胶现象、无基片损伤和沾污, 所以其应用范围日益普遍。6. 掺杂气体(dopant gases):在半导体器件和集成电路制造中, 将某种或某些杂质掺入半导体材料内, 以使材料具有所需求的导电类型和一定的电阻率, 用来制造pn结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氯化硼和乙硼烷等。通常将掺杂源与运载气体(如氩气和氮气) 在源柜中混合, 混合后气流连续流入扩散炉内环绕晶片四周, 在晶片表面堆积上化合物掺杂剂, 进而与硅反响生成掺杂金属而徙动进入硅。威海气体批发价格
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